DIC
一份针对 SJTU 微电子专业课程 MST3313 考试的知识总结。
单位
| Letter | Unit | Magnitude |
|---|---|---|
| a | atto | |
| f | fempto | |
| p | pico | |
| n | nano | |
| u | micro | |
| m | milli | |
| k | kilo | |
| x | mega | |
| g | giga |
引论
- VTC (电压传输特性/DC传输特性)
- /
- 门阈值电压/开关阈值电压 ,是 VTC 曲线和 的交点
- 高逻辑电平/额定高电压 ,低逻辑电平/额定低电压
- 可接受的高/低电压 / ,是 增益(gain) 为 的点,二者之间的区域称之为不确定区,或者叫过渡宽度(Transition Width)
- 噪声容限: ,
- 再生性:保证一个受干扰的信号经过若干逻辑级后收敛回额定电平中的某一个
- 图解法:

- 理论分析:
- 有一个增益绝对值大于 的过渡区,作为两个合法区的边界,而合法区的增益小于
- 图解法:
- 扇入和扇出
- 扇出:连接到驱动门输出端的负载门的数目 ,会影响逻辑输出电平
- 增大负载门的输入电阻/减小驱动门的输出电阻可以使这一影响减到最小
- 扇出大时,会使驱动门的动态性能变差(因此器件定义了最大扇出)
- 扇入:门输入的数目。扇入较大的门比较复杂,会使得静态和动态特性变差
- 扇出:连接到驱动门输出端的负载门的数目 ,会影响逻辑输出电平
- 理想数字门(理想反相器模型)
- ,
- 性能
- 门对输入端信号变化的响应速度
- 图:

- response time of the gate for a low to high output transition(50%→50%)
- response time of the gate for a high to low output transition
- Propagation delay time:
- Contamination delay time:
- 图:
- fall & rise
- 图:

- fall time 90% → 10%
- risetime 10% → 90%
- 图:
- 测量 的方式:环振,通过把 (其中 为奇数)个反相器连在一起,检测它发生振荡的周期 从而对 进行衡量。(周期公式在 的时候承认)
- 门对输入端信号变化的响应速度
- RC Network
- charge
- 到达 50% 点 :
- 10% → 90% :
- discharge
- charge
- Power
- 功耗延迟积:
- 能量延迟积:
- Chips Layout:
- is the distance between source and drain(minimum width of polysilicon)
- Yield and Cost
- Die(晶粒)per wafer:
MOS
二极管基础/半导体器件复习
- 二极管正偏 → 促进多子漂移,也即在(对方区域的)过剩少子扩散,在P/N两区过剩载流子随着深入不断减小 → 电流从 P 向 N 流过二极管,称为正偏
- 二极管反偏 → 抑制了(对方区域的)少子扩散,漂移电流为主导(只有自己区域的少子被驱动),P/N 两区本身的少数载流子随着深入不断增加(靠近耗尽区的被驱动走了一定是先驱动走耗尽区的再说别的) → 电流从 N 流到 P ,且很小
- 正偏耗尽层宽度缩小,结电容增加(相当于电容极板间距减小),反偏则完全相反
- 注意栅极传递和通过源极/漏极掺杂

MOS管
- PMOS/NMOS指的是源漏级的性质,以及沟道的性质
- 源极和漏极在物理上相同,只能通过相对电压来区分
- NMOS:低电压为源极,高电压为漏极
- PMOS:高电压为源极,高电压为漏极
- L是晶体管沟道的长度
- NMOS 不能完全上拉,PMOS 不能完全下拉。
静态特性
- 阈值电压 其中 是 时的阈值电压, 称为体效应(衬偏效应)参数,表明 改变造成的影响。对 NMOS 为正值,对 PMOS 是负值。 其中 , 是热电压,等于 。
- DC性质
| 区域/性质 | 正常NMOS | 短沟道NMOS | 长沟道NMOS |
|---|---|---|---|
| Cut-off | 对 , | ||
| Linear | 其中 称为工艺跨导参数 | 对 , (注意这里也有沟道调制效应)其中 一般会给出, | |
| Saturation | 根据沟长调制效应, ,其中 为左边的公式 |
- 沟长调制效应: 使得漏结的耗尽区加大,缩短了有效沟道的长度
- 亚阈值:电流在 不立即降为零,而是处于亚阈值/弱反型导通状态
- 亚阈值电流 exponentially increased with
- 降低
- 增加
- 增加
- 增加温度
- 亚阈值电流 exponentially increased with
其中上表中的短沟道NMOS那一列,被认为是用于手工分析的通用MOS模型。下面是上面式子涉及的模型参数( )
| 参数 | NMOS | PMOS |
|---|---|---|
| (V) | 0.43 | -0.4 |
| (V) | 0.4 | -0.4 |
| (V) | 0.63 | -1 |
| (A/V) | ||
| (V) | 0.06 | -0.1 |
| 通过考虑 MOS 充放电一个电容(一般考虑 到 ,因为这与前面的 的定义有关)时的等效电阻,可以 知道晶体管的等效电阻 | ||
| 假设电源电压远大于晶体管速度饱和电压 ,则晶体管一直处于速度饱和状态,计算 时,直接把 代入(linear的公式)计算即可。 | ||
| 有关电阻的一些结论: |
- 电阻反比于器件的
- 但 时,电阻实际上与电源电压无关
- 电源接近 时,电阻急剧增加
动态特性
- MOS 结构电容(覆盖电容:源和漏在氧化层下延展的横向扩散引起的栅和源漏间的寄生电容,称为覆盖电容)
- , 是单位面积的栅氧电容, 是源漏横向扩散的数量, 是沟道宽度
- 沟道电荷(栅至沟道电容 ,可以划分为 , , ,取决于工作区域于端口电压)
| 工作区域 | 器件情况 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 截止区 | 截止区域没有任何沟道存在, 出现在栅和体之间 | |||||
| 电阻区 | 形成反型层,作用是源和漏之间的导体,电容在源和漏之间平均分布; ,体电极与栅极之间被沟道屏蔽。 | |||||
| 饱和区 | 沟道被夹断,栅与漏之间的电容近似为 ,栅至体电容也为 ,所有的电容在栅极与源极之间。 |
- 漏和源反向pn结的耗尽区(反向偏置的源-体和漏-体之间的pn结的耗尽区)的结电容( 和 ),非线性,反偏提高时减小
- 示意图:

- 底板pn结:源区( 掺杂 )vs 衬底(掺杂 ),耗尽区电容 , 为单位面积的结电容,缓变系数为 接近
- 其中 , 是零偏压时底板单位面积的结电容, 为内建电势,公式为
- 侧壁pn结:源区(掺杂 ) vs 沟道阻挡层注入(掺杂 ,大于衬底掺杂 ),电容值为 (注意,源区的第四条边不考虑任何侧壁电容,因为代表的是导通的沟道,所以公式中只有 这些项)。 结深是工艺参数,常常与 合在一起: ,缓变系数为 接近
- 其中 , 是零偏压时的侧壁单位面积的结电容。
- 0.35 微米以下,沿沟道侧也会有电容,会加一项,
- 示意图:
- 器件电容模型
- 示意图

一些非理想效应
- 沟道长度调制效应(见前)
- 体效应(见前)
- 短沟道效应:沟道长度减小,源极和漏极端口周围的耗尽区会很接近,相比长沟道,短沟道 MOSFET 中栅极对沟道的控制较弱,随着沟道长 度缩小,MOSFET的阈值电压降低,同时改变的还有载流子的Mobility,以及沟道电流

- DIBL:随着源漏极/体端pn结的反向偏置电压增加,耗尽层的深度对沟道的耗尽电荷贡献增大,增加漏极到体的反向偏压会增强短沟道效应,并降低阈值电压。

- 热载流子效应:器件尺寸持续缩小,但电源和工作电压未进行缩放,电子的热效应上升
- 亚阈值区(见前)
- 闩锁效应:电源 VDD 和地线 GND 之间寄生的 PNP 和 NPN 双极性影响产生的低阻抗通路
- 不同工艺之间的差异:晶体管的参数(有效沟道长度,阈值电压,栅氧厚度)围绕典型值 值波动
- 对于快速的晶体管( ),较典型值 而言:有效沟道长度 短,阈值电压 低,栅氧厚度 薄, 高, 温度低,慢速则相反。
- 温度升高:迁移率降低, 降低
有很多非理想效应会导致亚阈值区的电流泄露
- 亚阈值导电
- 结漏(反向偏置的PN结中存在二极管电流)
- 栅漏(穿过超薄栅介质的隧穿)
- DIBL
- GIDL(栅漏电流击穿)
- 穿通
- 窄沟道效应
- 热载流子注入
Invertor
理想 CMOS 反相器的特性
- , ,噪声容限很大
- 逻辑电平与器件的尺寸无关(无比逻辑)
- 稳态时 和 之间有具有有限电阻的通路,低输出阻抗
- MOS 管栅视为绝缘体,高输入阻抗
- 电源线/地线之间没有直接的通路,不消耗任何静态功率
静态特性
- VTC:通过转换 PMOS 特性,找到交点,之后得到VTC曲线

- VTC曲线以及其中晶体管的工作模式

- 开关阈值计算: 为 的点,且两管均处于速度饱和态(电源电压足够高)。令通过两管的电流相等,且忽略沟长调制效应,因此有: 当 远大于与晶体管阈值电压/饱和电压时: 其中, ,后面的等号,是为了方便算两个管的参数比才给出的,因为: 。实际上, 本身就是前面公式最后一项里电压的比值,之所以写成这么复杂的式子,是为了方便导出两个管的参数比。当我们被要求计算参数比的时候,我们应该选取第二个与参数比有关的式子。
- 的一些性质
- 它对于器件比值的变化相对来说不敏感
- 改变器件的参数的影响是让 的过渡区平移,当输入信号具有某些特质的时候,可以调整管子的宽长比,以得到比较理想的响应
- 有关尺寸比:尺寸比越大, 越大, 越大,尺寸比设计越大
- 在开关阈值处的增益: ,它几乎完全取决于工艺参数(注意:这里没有忽略沟长 调制效应),选择电源电压/晶体管尺寸只能造成很小的影响。
- 尺寸比越大, 绝对值越大
- 求解增益的目的是找噪声容限。将VTC进行简化如下:
- 这样,就可以将其视作一个线性的函数进行求解。于是有: ,,, 。因此,可以求出噪声容限。
- 电源电压降低一定的程度,可以提高 ,但是降太低,门的特性又会变差。所以电源电压有这样的要求
动态特性
- 要求反相器的动态特性,也就是反相器在输入信号变化后,输出特性发生怎样的变化,就要知道反相器的延迟时间。而我们可以把反相器等效成如下的电路,并通过计算电容和电阻得到延迟时间。

- 电容:考虑一对串联反相器动态特性的寄生电容
- 图:

- 由于 和 不是断开就是处于饱和模式,栅漏电容 ,密勒效应之后,可以等效为接地的
- 对于扩散电容 和 ,可以知道: ,而 其中 是内建结电势, 是梯度系数。 是输出为高电平时漏结上的电压(反向电压), 是输出为低电平时,且如果状态为从A到B,则应到达的那个状态的对应电压应该是达到幅值的 时的漏结上的电压(注意另一边接的是体极,电压为 或者 )。
- 假设输出高电平为
- 输出由高到低:NMOS: , ;PMOS: ,
- 输出由低到高:NMOS: ,;PMOS: ,
- 特别需要注意的是:计算完之后还要乘以面积/周长的!!!
- 扇出的栅电容:
- 假设栅电容所有部分都在 和 / 之间
- 近似认为门沟道电容保持不变,并近似为 (NMOS的情况)
- 连线电容:直接代入即可
- 图:
有关电容的表格总结:
| 电容 | 公式 |
|---|---|
- 电阻:
- 传播延迟:
- 需要注意的是传播延迟是到 那个点的,结合前面的 RC Network 有关的知识,可以知道我们要求的 和 都可以用 这个式子来解决掉。(注意 和 算出来的 是有区别的,具体可以看前面结电容计算的叙述)
- 然而用上面那个公式还是太复杂了!在面对传播延迟的时候我们不得不进行一波简化。考虑如下的图:
- 其中 (这显然是一个近似)
- 然后一通算,并且把 代入进去,有:
- 这之后我们想知道如何设计器件以达到下面两种情况:
- 此时,直接令两式相除,此时 (注意前面有写过 定义了),可以通过计算两个电阻的比值直接计算出来 ,我们为了方便,令两个电阻之比为
- 最小,经过一些复杂的计算,我们可以知道,这时
- 图示

反相器链
- 上一节中的电容式子还是太复杂了,所以我们认为 , 代表反相器的自载(也即本征输出电容,与管子的扩散电容和栅漏覆盖电容有关)电容, 是外部负载电容,来自扇出和导线电容,则 可以被简化为: 。因为我们想将把晶体管的尺寸也放入这个式子之中,于是我们定义参考门的电容与电阻为 与 ,令 , ,则 ,但 也不能无限大,因为这增加了硅片面积,在这里我们可以发现面积和延时的trade off。
- 实际情况中,反相器门是在反相器链中的。因此建立输入栅电容(在反相器链中,前一个电容的外部负载电容基本可以等效为后一个电容的栅电容)和本征输入电容的关系: ,则上面的公式可以变为: